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四氟甲烷
| 名 称： | 四氟甲烷 | ||
| 别 名： | 四氟化碳 | ||
| CAS No.： | 75-73-0 | ||
| EINECS： | 200-896-5 | ||
| 分子式： | CF4 | ||
| 分子量： | 88.00 | ||
| 物理性质： | 无色无臭气体。 熔点(ºC)：-183.6。相对密度(水=1)：1.61(-130ºC) 沸点(ºC)：-128.0。饱和蒸气压(kPa)：13.33(-150.7ºC) 临界温度(ºC)：-45.5。临界压力(MPa)：3.74 |
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| 规 格： | 项目 | 含量 | 单位 |
| CF4 | ≥99.999 | %V | |
| O2+Ar | ≤1 | ppmv | |
| N2 | ≤4 | ppmv | |
| CO2 | ≤1 | ppmv | |
| CO | ≤1 | ppmv | |
| SF6 | ≤1 | ppmv | |
| Other Halocarbons | ≤1 | ppmv | |
| H2O | ≤1 | ppmv | |
| Acidity(HF) | ≤0.1 | ppmv | |
| 用 途： | 微电子工业中等离子蚀刻气体，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于化学稳定性极强，CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。四氟化碳的溶氧性很好，因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。 | ||
| 包 装： | 钢瓶：1L；2L；4L；8L；40L；47L；Y罐 | ||
| 产品图片： |  |
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